SF6精密露點(diǎn)儀也叫微水儀，因此將露點(diǎn)儀長期放置于大氣環(huán)境中，會降低露點(diǎn)儀的測量精度。固定式安裝的露點(diǎn)儀一般2年需要重新校準(zhǔn)一次；而便攜式應(yīng)用的露點(diǎn)儀一般1年就要重新校準(zhǔn)一次，主要原因就是便攜式露點(diǎn)儀和大氣環(huán)境接觸的機(jī)會更多，測量精度更容易受到影響。

 

　　SF6精密露點(diǎn)儀通過水分的增減改變電容介電材料的特性，進(jìn)而改變電容值，進(jìn)而改變由電容和電感組成的振蕩電路的振蕩頻率。振蕩頻率的高低反應(yīng)壓縮空氣中水分含量的多少。

 

　　根據(jù)所采用介電材料的不同常見的有兩類：氧化鋁型和高分子聚合物薄膜型。氧化鋁型低可以測量到－100°C的壓力露點(diǎn)，薄膜型低可以測量到－80°C。

 

　　讓樣氣流經(jīng)露點(diǎn)冷鏡室的冷凝鏡，通過等壓制冷，使得樣氣達(dá)到飽和結(jié)露狀態(tài)（冷凝鏡上有液滴析出），測量冷凝鏡此時的溫度即是樣氣的露點(diǎn)。該方法的主要優(yōu)點(diǎn)是精度高。

 

　　在采用半導(dǎo)體制冷和光電檢測技術(shù)后，不確定度甚至可達(dá)0.1℃；缺點(diǎn)是響應(yīng)速度較慢，尤其在露點(diǎn)－60℃以下，平衡時間甚至達(dá)幾個小時，而且此方法對樣氣的清潔性和腐蝕性要求也較高，否則會影響光電檢測效果或產(chǎn)生‘偽結(jié)露’造成測量誤差。

 

　　鏡面制冷的方法有：半導(dǎo)體制冷、液氮制冷和高壓空氣制冷。鏡面式露點(diǎn)儀采用的是直接測量方法，在保證檢露準(zhǔn)確、鏡面制冷效率和測量結(jié)露溫度前提下，該種露點(diǎn)儀可作為標(biāo)準(zhǔn)露點(diǎn)儀使用。目前上精度達(dá)到±0.1℃（露點(diǎn)溫度），一般精度可達(dá)到±0.5℃以內(nèi)。